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シーズ情報詳細

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シーズ番号 00052
企業番号 KS0018
地域 九州
企業名 株式会社 昭和電気研究所 
売上額 10~50億円未満 
シーズ名称 光学技術・画像処理を用いたウェハ検査装置
シーズ概要 光学技術を主軸とし、ウェハの欠陥検出を行う検査装置を製作致します。
お客様と打合せの上、仕様を決定し、オーダーメード致します。
Si,SiC,Gan,その他化合物、ガラス等のクラック、キズ、結晶欠陥、汚れ、
エッジのチッピングなどの欠陥を検出します。
また、高精度アライメントユニットなど、光学系や数値演算を伴うユニットも供給可能です。
解決できること 欠陥検出を行うことにより、工程内でのウェハの破損、不良流出を未然に防ぎます。
対象分野 一般機器/精密機器/輸送機器/電気機器/金属材料/電子材料
対象技術 製造加工技術/計測制御技術/試験評価技術/品質管理技術
認証資格等 ISO9001,ISO14001
知的財産権の有無
主要設備/研究装置 クリーンルーム(Class10000)、光学実験テストベンチ、金属顕微鏡、測定顕微鏡、実体顕微鏡

inspectiontarget.pdf (PDF/ 281.9 KB )

検査対象・スペックシート

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お問合わせは

一般財団法人九州オープンイノベーションセンター

TEL
092-411-7394
FAX
092-472-6688
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